波長色散X射線熒光光譜儀是熒光光譜儀兩大類的一種，下面就為大家揭示波長色散X熒光光譜儀的結構。
1. X射線管
現代波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管有以下特點：
1)小功率化：X射線管的小功率化不僅使X射線管自身的體積縮小，而且無需外冷卻水循環系統。用于波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管功率已減至1kV或更低。
2)鈹(Be)窗超薄化：X射線管的鈹窗厚度一般為75~ 125μm，有的X射線管的鈹窗厚度僅有30μm，這樣大大提高了初級X射線的透射率；
3) X光管端窗“超銳”化：這種“超銳”X射線管外形獨特，頭部尖細，內部采用陶瓷絕緣，其設計更加緊湊、合理、精確。窗口至樣品的距離較常規端窗管短（約16mm），大大提高了X射線輻照強度。而且，由于采用優良的絕緣和長壽命的燈絲，延長了X射線管的使用壽命。
4)X光管雙靶化：為了使輕重元素都能獲得最佳激發效率，---些儀器廠家將X光管設置成雙靶型。如日本株式會社理學RIX300采用Rh/Cr，Rh/ W雙靶X射線管。
2.高壓發生器
近年來，譜儀的高壓發生器幾乎都采用高頻變換高壓發生器，這種高壓發生器具有體積小、重量輕、不需龐大的水冷系統、耗能低、噪音小等特點。發生器的高壓穩定性也較高，一般說來，當網路電壓波動不超過±10%時，穩定性可達0.0005%，從而保證了X射線管所發射X射線強度的高穩定性。
3.測角儀
測角儀是順序式X射線熒光光譜儀的核心部件，也是同時式多道X射線熒光光譜儀中掃描的基本部件。現代波長色散X射線熒光光譜儀的測角儀都由原來的機械齒輪傳動測角儀改進為光學編碼控制的測角儀。過去使用的機械齒輪傳動測角儀的體積較大，掃描速度慢，定位精度受到一定限制，其定位精度一般只能達到±0.001°。新型光學編碼控制測角儀的定位精度可達±0.0001°，掃描速度為0.001 ~ 1.27°/s。
4.探測器和計數器
在現代波長色散X射線熒光光譜儀中，探測器和計數器的最大線性計數率由原來的100000/s擴展到1000000/s，甚至最大線性計數率可達4×1000000/s。正比計數器逐漸由原來的流氣式向封閉式過度。采用封閉式正比計數器后，工作時既無需配制工作氣體，又防止了氣體質量的不一致和流量變化對測量結果的影響，從而保證了測量結果具有更好的再現性。