簡(jiǎn)說(shuō)X射線熒光光譜儀的發(fā)展，主要是說(shuō)明X射線熒光分析儀的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)，及其X射線熒光光譜儀的拓展，及X射線熒光測(cè)量技術(shù)目前的體現(xiàn)方面。
自1895年德國(guó)物理學(xué)家倫琴發(fā)現(xiàn)了X射線，1896年法國(guó)物理學(xué)家喬治( Georgs S)發(fā)現(xiàn)了X射線熒光，1948年弗利德曼(Friedman H)和伯克斯(Birks L S)首先研制了第一臺(tái)商品性的波長(zhǎng)色散x射線熒光光譜儀以來(lái)，X射線熒光光譜分析技術(shù)發(fā)展迅速。尤其是20世紀(jì)90年代以來(lái)，隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)的飛速發(fā)展，X射線熒光光譜儀和X射線熒光分析技術(shù)及其計(jì)算機(jī)軟件的不斷開發(fā)，X射線熒光光譜儀現(xiàn)已由單一的波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀發(fā)展成擁有波長(zhǎng)色散、能量色散、電子探針、全反射、同步輻射和質(zhì)子X射線光譜儀等一大家族。
創(chuàng)想EDX-6000型臺(tái)式X射線熒光分析儀
X射線熒光光譜儀的不斷完善和發(fā)展所帶動(dòng)的X射線熒光分析技術(shù)已被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域。X射線熒光光譜分析不僅成為對(duì)其物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、化學(xué)立體結(jié)構(gòu)、物證材料進(jìn)行試測(cè)，對(duì)產(chǎn)品和材料質(zhì)量進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，對(duì)人體進(jìn)行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗(yàn)等的重要分析手段，也是材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的--種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。同時(shí), X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等方面首選儀器之一。
目前，無(wú)論是波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀還是能量色散X射線熒光光譜儀,譜儀測(cè)量技術(shù)的進(jìn)展主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)智能化、電子元件的大規(guī)模集成化和功能化、功能部件的小型化和一體化、譜儀的多功能化、樣品更換自動(dòng)化、譜儀的調(diào)試和維修遠(yuǎn)程化。