自20世紀70年代能量色散X射線熒光光譜儀投放市場以來，經歷了近30年的發展，能量色散X射線熒光光譜儀已日臻完備，無論是硬件還是軟件的開發都與波長色散X射線熒光光譜儀基本同步。與早期相比，現代能量色散X射線熒光光譜儀已在以下幾方面獲得較大進展：
1.X熒光光譜儀譜儀整機的一體化、小型化
傳統的管激發能量色散X射線熒光光譜儀由冷卻水循環系統。X射線管高壓發生器和測量系統三大部分組成。現代能量色散X射線熒光光譜儀已去掉了冷卻水循環系統，將X射線管高壓發生器和測量系統融為一體，做到了輕便、靈活。
2.X射線管
用于管激發能量色散X射線熒光光譜儀的X射線管功率小于或近于100W， 最大X射線管電流小于1mA。
3.高壓發生器
X熒光光譜分析儀的高壓發生器采用高頻變換高壓發生器，所產生的高壓大于50kV。這種高壓發生器。比用于波長色散X射線熒光光譜儀的高壓發生器更具有體積小重量輕、耗能低、噪音小等特點。
4.探測器
a)對于高分辨探測器，不僅限于Si(Li)探測器，現在還開發出了Ge探測器，這些半導體探測器都可在室溫環境中存放，工作時采用液態氮或電致冷。
b)超薄型鈹( Be)窗：Si(Li) 探測器的鈹(Be)窗一般為75~125μm，大大提高了測量輕元素的靈敏度。
c)高分辨：測量MnKa 5.9keV 線的能量半高寬小于150eV。