X熒光光譜儀是用來測定物質重元素的種類和含量的儀器，物質中每種元素的原子能級結構都是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差）。因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。在使用X熒光光譜儀時，其小故障該怎么處理。
X射線光管頻繁自動關掉，其主要原因是X光管發生器的溫度升高，這時候我們需要清理或更換X光管發生器的排風扇，即可解決這個問題。
X熒光光譜儀有自檢功能，但是在使用時發現不自檢，不聯機，不復位，而且多次重新啟動都一樣。在經過一系列操作過后：卸真空后，重新啟動計算機，熒光自檢、聯機、復位正常，但在抽真空時，不能抽，出現大于25Ka時間太長，經查發現油泵和樣品室之間的過濾網堵塞嚴重，經更換后正常。
X熒光光譜儀不能聯機，可以關光管，關機，重新啟動，將“ICS”內容去掉后正常。
X熒光光譜儀進樣時間變長，甚至不能分析，在經過研究，檢查黃銅蓋更換O型環，仍然漏氣，卸真空，揭入蓋，清小車，更換進樣軸封，確定是進樣軸封漏氣導致了此狀況產生。
真空型X熒光光譜儀
X熒光光譜儀樣品盒進去后不出來，經過檢查，盒蓋未蓋上，只放在上面，導致盒超出范圍，進去后出不來，又不能進行初始化。此時關光管，關機，重新啟動，但不需要進行初始化。
X熒光光譜儀熒光分子泵停，真空度高，大概率是由光譜室內漏氣導致。卸真空，揭大蓋、清小車上下密封環。
X射線熒光光譜儀用于固體、粉末或液體物質的元素分析。工作的基本原理是X射線管發出的初級X射線激光試樣中的原子，產生的熒光X射線通過晶體分光并用探測器測量，根據各種元素特征X熒光譜線的波長和強度進行元素的定性和定量分析。