今天將要為大家?guī)淼氖窃赬熒光光譜儀的4個重要系統(tǒng)裝置：檢測記錄系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、換氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)。
檢測記錄系統(tǒng)
X射線熒光光譜儀用的檢測器有流氣正比計數(shù)器和閃爍計數(shù)器。（圖1）是流氣正比計數(shù)器結(jié)構(gòu)示意圖。它主要由金屬圓筒負(fù)極和芯線正極組成,簡內(nèi)充氬（90%）和甲烷（10%）的混合氣體，X射線射入管內(nèi)，使Ar原子電離，生成的Ar+在向陰極運動時，又引起其它Ar原子電離，雪崩式電離的結(jié)果，產(chǎn)生一脈沖信號，脈沖幅度與X射線能量成正比。所以這種計數(shù)器叫正比計數(shù)器，為了保證計數(shù)器內(nèi)所充氣體濃度不變，氣體一直是保持流動狀態(tài)的。流氣正比計數(shù)器適用于輕元素的檢測。
圖1.流氣正比計數(shù)器結(jié)構(gòu)
圖2.閃爍計數(shù)器結(jié)構(gòu)
另外一種檢測裝置是閃爍計數(shù)器（圖2）。閃爍計數(shù)器由閃爍晶體和光電倍增管組成。X射線射到晶體后可產(chǎn)生光，再由光電倍增管放大，得到脈沖信號。閃爍計數(shù)器適用于重元素的檢測。除上述兩種檢測器外，還有半導(dǎo)體探測器，半導(dǎo)體探測器是用于能量色散型X射線的檢測。這樣，由X光激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線，經(jīng)晶體分光后，由檢測器檢測，即得2θ-熒光X射線強度關(guān)系曲線，即熒光X射線譜圖。
數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
采用計算機(jī)及其軟件對X射線強度進(jìn)行校正并換處成分析元素含量。
換氣系統(tǒng)
為減少大氣對長波X射線的吸收，應(yīng)有抽真空系統(tǒng)或氦氣置換系統(tǒng)并有穩(wěn)定地維持其壓力的裝置。
冷卻系統(tǒng)
為使X射線管及高壓電源在工作時處于良好散熱狀態(tài)，應(yīng)有冷卻裝置。一般用水冷卻。側(cè)窗靶為陽極接地，可用潔凈自來水；冷卻端窗靶為陰極接地，陽極要用電阻率大于5.0MΩ●cm的去離子水冷卻。