利用熒光光譜儀來做檢測是目前市面一個重要的檢測手段，而根據不同的檢測原理，也有兩種不同的檢測儀器。
X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）,以X熒光的波粒二象性中波長特征為原理的稱為波長色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型。
能量色散型原理
能量色散型熒光光儀（EDXRF）是借組高分辨率敏感半導體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據各元素能量的高低來測定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結構也不同。
波長色散型原理
X射線熒光光譜法，是用X射線管發出的初級線束輻照樣品，激發各化學元素發出二次譜線（X-熒光）。
波長色散型熒光光儀（WDXRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X射線波長和強度，從而測定各種元素的含量。
科技源于創新
總結，也就是說，能量色散型光譜儀檢測的x射線與之不同，當用高能電子照射樣品時，入射電子被樣品中的電子減速，會產生寬帶連續X射線譜。如果入射光束為X射線，樣品中的元素內層電子受其激發，可產生特征X射線，稱為二次X射線，或稱為X射線熒光（XRF）。通過分析樣品中不同元素產生的熒光X射線波長或能量和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性和定量分析的目的。
能量色散型光譜儀檢測的是x射線，而波長色散型檢測的是二次x射線，也就是x射線熒光。兩者的技術不同，儀器結構和應用也不同。
考慮到各種情況，能量色散型熒光儀和波長色散型熒光儀的檢測限基本相同。但在（高能光子）范圍內能量色散的分辨率好些，在長波（低能光子）范圍內，波長色散的分辨率好些。
能量色散與波長色散之間的關系可以稱之為互相補充，各有優點，根據需求來選擇。