X熒光光譜儀就是利用了X熒光技術而作為檢測手段的一種儀器，目前按受用便捷性劃分，有手持式的便攜式X熒光光譜儀，適用于現場，而另外一種就是實驗室配備的臺式X熒光光譜儀，臺式X熒光光譜儀現如今已經發展成為一種重要且有效的化學分析手段。
關于X熒光技術在我國的發展，其實能追溯到50年代初，當時，只有少數的化學分析工作者從事熒光分析方面的研究工作，直到70年代后期，臺式X熒光光譜儀已引起國內分析界的廣泛重視，在全國眾多的分析化學工作者中，已逐步形成一支從事這一領域工作的隊伍。
1、熒光分析特點
（1）臺式x熒光光譜儀的主要特點是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數量級。分光光度法通常在 10-7 級 ，而熒光的靈敏度達10-9。
（2）強選擇性強，熒光物質具有兩種特征光譜：激發光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據激發光譜和發射光譜來鑒定物質。
（3）信息量豐富，能提供熒光物質的多種參數。
（4）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質本身不發熒光；②熒光的產生與化合物結構的關系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。
2、臺式x熒光光譜儀主要應用
（1）在生物領域的應用
該領域主要用于臨床測定生物樣品中某些成分的含量，生物技術及免疫技術的分析等，如脫氧核糖和脫氧核糖核酸的含量測定、DNA、抗體、抗原等各方面的研究。在此領域中主要時利用各種熒光探針進行分析檢測，主要分為生物納米熒光探針和生物非納米熒光探針。
其中納米技術的興起，打開了熒光分析的又一個新的領域。由于納米材料具有很好的熒光性，寬激發，窄發射等優良的光譜特點，使其成為熒光分析中的重要的研究對象，引起了研究者的興趣。
（2）在食品領域的應用
該領域主要用于食品中礦物質及金屬元素、氨基酸、維生素、菌類污染、添加劑、防腐劑、食品包裝有害物質、農藥殘留等的分析檢測。特別是與HPLC、TLC、FIA等技術的結合可以更好的達到食品中各種物質的檢測效果。目前我國食品標準日趨國際化，臺式x熒光光譜儀對于食品分析的要求也越來越趨向于靈敏和微量化。熒光分析正可以滿足這方面的分析要求。
（3）在環境分析中的應用
臺式x熒光光譜儀領域主要利用熒光分析檢測環境中的物質的含量，主要是對水體、礦石和土壤進行檢測。隨著有機化工、石油化工、醫藥工業的發展, 以及農藥( 殺蟲劑、除草劑等) 的大量使用, 有機化合物對環境的危害和污染日益嚴重。
目前被列入有機污染物監測國家標準方法中的熒光分析法有；冷原子熒光法對有機汞的測定；乙酰化濾紙層析熒光分光光度法對大氣飄塵和水體中苯并( a) 芘的測定；酚類 、木質磺酸酯、多環芳烴( 芘、螢、蒽) 的熒光分析法測定等。