和直讀光譜儀對氬氣的高要求相同，使用高頻紅外碳硫儀也是需要高純度的氧氣。
紅外碳硫分析儀使用的氧氣要很純，而我們市場上賣的氧氣的純度一般為99.5%，有的含量可能還要更低些，其中含少量水分及微量二氧化碳，一氧化碳，CH4等氣體。如果這些混雜的氣體如果不預先去掉，那么就會使試樣碳的測定結果偏高，所以我們必須對所用氧氣要進行凈化處理。
我們在測定超低碳時，氧氣須再進一點凈化，方法是使氧氣再通過一個凈化管，即加熱至1200度到1300度的空瓷管使一氧化碳等雜質氧化成二氧化碳，然后我們用堿石棉吸收，這樣才可使空白降至更低。