X熒光光譜儀技術已經在各個領域都有應用，但同樣的，不同領域中，其實樣品是不盡相同的，固態、塊狀、粉末、液態、氣態等等，所以，其實不同的樣品其實制樣方式還是不同的。
由樣品制備和樣品自身引起的誤差：樣品的均勻性；樣品的表面效應；粉末樣品的粒度和處理方法；樣品中存在的譜線干擾；樣品本身的共存元素影響即基體效應；樣品的性質；標準樣品的化學值的準確性。
引起樣品誤差的原因
（1）樣品的組分分布不均勻 樣品組分的偏析、礦物效應等。
（2）樣品的組成不一致引起吸收、增強效應的差異造成的誤差。
（3）樣品物理狀態不同，樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣；樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發、起泡、結晶及沉淀等。
（4）被測元素化學結合態的改變 樣品氧化，引起元素百分組成的改變；輕元素化學價態不同時，譜峰發生位移或峰形發生變化引起的誤差。
（5）在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不完全，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準或基準試劑的純度不夠等。
樣品種類樣品狀態一般有固體塊狀樣品、粉末樣品和液體樣品等
（1）固體塊狀樣品 包括黑色金屬、有色金屬、電鍍板、硅片、塑料制品及橡膠制品等，其中金屬材料占了很大的比例。
（2）粉末樣品 包括各種礦產品，水泥及其原材料，金屬冶煉的原材料和副產品如鐵礦石、煤、爐渣等；還有巖石土壤等。
（3）液體樣品 油類產品、水質樣品以及通過化學方法將固體轉換成的溶液等。
X熒光光譜儀分析法中不同樣品有不同的制樣方法。金屬樣品如果大小形狀合適，或者經過簡單的切割達到分析的要求，只需表面拋光，液體樣品可以直接分析，大氣塵埃通常收集在濾膜上直接進行分析。而粉末樣品的制樣方法就比較復雜，利用壓樣機，把粉末樣品制成塊狀，進行進一步的分析。