X熒光光譜儀分析，之前我們是說過，應該起始于倫琴發現X射線開始，應該我們小時候也學過他的文章，連環畫也寫，X射線也被廣泛應用于各行各業，對于我們分析儀器廠商來說，X射線的應用，主要在于對被測物的檢測，利用其原理。從被發現至今，經過完善理論階段，直至目前的應用蓬勃發展階段，在經歷了幾代人努力，125年的發展，共有波長色散、能量色散、全反射、同步輻射、質子X射線熒光光譜儀和X射線熒光分析儀等，真的是一個大家族。
X射線熒光光譜分析的發展之所以如此迅速，一方面是由于微電子和計算機技術的飛躍發展，另一方面也是為了滿足科學技術對分析的要求。當然，這還與這種分析技術的特點有關：
(1)可直接對塊狀、液體、粉末樣品進行分析，也可對小區域或微區試樣進行分析，如質子X射線熒光通過良好聚焦的帶電粒子束可提供0.5μm的束斑。
(2)從常規分析的角度來說，其分析結果的準確度已經可以與化學分析相媲美。除去電費和簡單的樣品制備外，分析成本很低。雖然一次性投資較大，但一般在三五年內便可以收回成本。
(3)可分析鍍層和薄膜的組成及厚度，如用基本參數法薄膜軟件可分析多達十層膜的組成和厚度。
(4)隨著計算機技術的發展已經可以對樣品進行在線基體校正，而且解除了試樣與標準樣形態一致的限制。
X熒光光譜技術飛速發展
(5)X熒光光譜儀已實現自動化、智能化、小型化和專業化，在性能上有很大改進。
(6)對儀器光源的穩定度要求從上世紀八十年代的0. 1%發展到現在的0. 04%，從而進一步保證了測量結果的可靠性。
(7)X熒光分析法是無損分析方法，隨著分析技術的發展，已廣泛用于古陶瓷、金屬屑、和貴重首飾的組成分析，為文物斷源及斷代提供了重要的支持。
(8)能量色散譜儀已成為在線分析的首選，尤其是低分辨率譜儀。
(9)波長色散和能量色散的檢測范圍大幅提升，檢測限已達10-9~10-12g，以滿足眾多物質的分析要求。
(X)利用波長色散光譜儀已經可以測定元素的價態、配位和鍵能等化學信息。
我國在此領域的研究有著不錯的規模基礎，但實話實講，我們在此方面的研究，還是缺少一定的深入及長期的研究。但我國的科研人員在此方面還是在不斷的深入地研究，定會在不久的將來趕上國際同等水準。