X熒光光譜分析是現代常規分析中的重要方法，利用原級X射線光照射待測物質中的原子，使之產生次級X射線熒光，從而進行物質的成分分析和化學態研究。
事實上，根據性能和應用范圍，可以將X熒光光譜儀分為幾種，實驗室使用的臺式X熒光光譜儀，小型便攜式X熒光光譜儀，手持式X熒光光譜分析儀及工業用儀器。
X熒光分析儀的定性和半定量分析具有譜線簡單、無損檢測、操作簡便、快速檢測、易克服基體的吸收和增強效應等優點，使用手持式X熒光光譜儀或者便攜式X熒光分析儀可在野外和現場進行分析檢測，這是實驗室儀器所不能做到的。
實驗室用X熒光光譜儀
定量分析可分為兩類，即實驗校正法（或稱標準工作曲線法）和數學校正法。它們都是以分析元素的X熒光（標識線）強度與含量具有一定的定量關系為基礎的。70年代以前，數學校正法發展較慢，主要用于一些組成比較簡單的物料方面；大量采用的是實驗校正法。其中常用的有外標法、內標法、散射線標準法、增量法、質量衰減系數測定法和發射-吸收法等。70年代以后，隨著X熒光分析理論和方法的深入發展，以及儀器自動化和計算機化程度的迅速提高，人們普遍采用數學校正法。其中主要包括經驗系數法、基本參數法和經驗系數與基本參數聯用法等。應用這些方法于各種不同分析對象，可有效地計算和校正由于基體的吸收和增強效應對分析結果的影響。對于譜線干擾和計數死時間，也可以得到有效的校正。這些方法除基本參數法外，一般都比較迅速、方便，而且準確度更高。在許多領域中，無論是少量或常量元素分析，其結果足與經典的化學分析法媲美，因而在常規分析中，X熒光分析法和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起，并列為儀器分析的主要手段。