X熒光光譜分析方法是目前應用范圍比較廣的分析方式，據了解，使用X射線來檢測，可實現合金、礦石、土壤、RoHS等多種檢測。在常規的儀器了解中，小編一直以為X熒光光譜儀里的X熒光都是由X射線管產生的，然而其實并不是這樣的。
以X射線管的一次輻射激發熒光已經成為X熒光光譜分析的比較常用的方法，其實主要原因還是這種方法成本低，試樣更換比較方便，熒光強度較高。但其實，放射源激發，直接電子激發或質子轟擊等具有一些獨特的地方，可以供一些分析工作選用。
放射源激發
這里面有兩種主要的放射源，一種是放射γ射線，另外一種放射電子（β粒子），而且能在某能源中轉化為X射線。射電子(β粒子)，而且能在某能源中轉化為X射線。如果能很方便地把氫引入經過選擇的任何元素，在多種情況下，β發射體是理想的放射源。放射源的優點是體積小，與X射線管相比成本低。但缺點是強度低，有些同位素壽命短。如與X射管相比，其強度之低，以致無法采用色散X射線的晶體分光計，而只能采用能量色散(常稱為非色散法)裝置。
直接電子激發
在總功率相等的前提下，直接電子激發所提供的強度比X射線激發引起的熒光強度高兩萬倍。但是試樣必須置于電子源真空系統內。當然，這對高速真空系統而言，是不難實現的，這就是電子探針微區分析所使用的方法。對于中等原子量元素，來自連續譜的背景影響使電子激發的探測能力局限于20~100ppm；X射線激發法的最低可測含量為1~ 10ppm。在低原子序數元素的測定中，關鍵的問題是如何獲得足夠的強度，直接電子激發則能提供較高的強度。
X熒光光譜儀的內部檢測原理
質子激發
關于質子激發，已經做過研究，而且認為，這種方法在某些方面是極其有益的。在質子激發中，不存在可測的連續譜，這與電子激發相比，是一個突出的優點。一般說來，質子源的成本較電子源或X射線管都高。之前認為，在激發薄膜的X射線時，質子比電子更有效，其理由是質子的穿透本領小。但是，在X射線產額相同的條件下質子能量約比電子能量高一百倍，因此高能質子的穿透能力實際上大于低能電子。