X熒光光譜儀的功能除了RoHS檢測指令外，事實上也有測厚功能，那下面就來說說X熒光光譜儀的類別吧，都有哪些種X熒光光譜儀。
a.便攜式熒光能譜儀
它是以同位素源為激發(fā)源，優(yōu)點是體積小巧，便于攜帶，適用現(xiàn)場分析或野外和大型。主要缺點是不能達(dá)到大型熒光能譜的分析精度。目前國際上ZUI好的便攜式熒光能譜儀可同時分析包括黃金(Au)等24種元素。
b.小型管激發(fā)X-熒光能譜儀
由于探測器采用正比計數(shù)管技術(shù)，因此體積較小，優(yōu)點是價格便宜，適用于單元素的高含量的分析。缺點是由于采用正比計數(shù)管技術(shù)探測器分辨率較差，因而不能對相鄰元素進(jìn)行分析，不能進(jìn)行多元素分析，一般僅對一個元素進(jìn)行半定量分析。
c.大型X-熒光能譜儀
主要特點是采用Si(Li)探測器技術(shù)，按制冷方法可分液氮制冷和電致冷兩種。儀器有很高的穩(wěn)定性、很高的靈敏度、準(zhǔn)確度和重現(xiàn)性，可同時分析Na-U的各種元素，分析的濃度從 100％－ppm級。
微區(qū)X熒光光譜儀
d.微區(qū)X-熒光能譜儀
除去上述類型的能譜儀，另外，還有特殊性能的熒光能譜儀。上述的熒光能譜儀均是從事材料的平均成份分析，對材料中的夾雜物或不均勻材料或小顆粒的分析有很大的局限性。目前有一種非常成熟的能譜技術(shù)，這種能譜叫微區(qū)X-熒光能譜儀，它不僅可以完成一般能譜儀的平均成份的分析，又具有可變的細(xì)的X-光光束，可對微區(qū)進(jìn)行有選擇的分析。可通過JING密移動樣品臺的對樣品細(xì)小的區(qū)域進(jìn)行成份分析, 并實時給出元素的面分布圖。它類同于掃描電鏡或電子探針的分析， 但又比后者靈敏度高得多。特別實用于各種不均勻材料和夾雜物的鑒定分析。微區(qū)ZUI小區(qū)域一般可在30微米， 100微米，200微米，500微米至 1000微米（1毫米）由用戶任意選擇。
目前購買的比較多的是a和c類，d類價格不菲，很多廠家都忘而卻步，大家根據(jù)自己的時間情況選擇適合自己產(chǎn)品分析的一款。