X熒光光譜儀應用X射線的檢測原理，對多種類樣品進行樣品的分析，能量色散X熒光光譜儀作為X熒光光譜儀中的一類，是怎么樣進行檢測的呢？
通常，使用晶體分光器，通過對晶體衍射現象把不同波長的X射線分開并檢測，得到熒光X射線光譜。但是能量色散X熒光光譜儀卻有所不同，其利用熒光X射線具有不同能量的特點，將其分開并檢測，不必使用分光晶體，而是依靠半導體探測器來完成。這種半導體探測器有鋰漂移硅探測器，鋰漂移鍺探測器，高能鍺探測器等。X光子射到探測器后形成一定數量的電子-空穴對，電子-空穴對在電場作用下形成電脈沖，脈沖幅度與X光子的能量成正比。在一段時間內，來自試樣的熒光X射線依次被半導體探測器檢測，得到一系列幅度與光子能量成正比的脈沖，經放大器放大后送到多道脈沖分析器（通常要1000道以上）。按脈沖幅度的大小分別統計脈沖數，脈沖幅度可以用X光子的能量標度，從而得到計數率隨光子能量變化的分布曲線，即X光能譜圖。能譜圖經計算機進行校正，然后顯示出來，其形狀與波譜類似，只是橫座標是光子的能量。
創想儀器 能量色散X熒光光譜儀
能量色散X熒光光譜儀的優點在于可以同時測定樣品中幾乎所有的元素。因此，分析速度快。另一方面，由于能譜儀對X射線的總檢測效率比波譜高，因此可以使用小功率X光管激發熒光X射線。另外，能譜儀沒有光譜儀那么復雜的機械機構，因而工作穩定，儀器體積也小。
選用合適自己的能量色散X熒光光譜儀，有效檢測多種類樣品，幫助實驗室的研究。