X熒光光譜儀作為一種常用的分析檢測儀器，其已經廣泛應用于多產業領域及科研方向。但是此種儀器在輕元素的檢測上還不成熟，尚屬于初期應用的階段，怎么樣才能進一步提高X熒光光譜儀的檢測靈敏度呢？
在儀器技術的改進方面，為提高分析靈敏度，這種改進主要仍決定于激發、色散和探測等三個基本環節。
在激發源方面：常規X射線管對輕元素的激發，除銠靶外，還發現鈧靶的效率較高。新型的強大的同步輻射源在分析上的應用研究也已開始，在特征X射線外延吸收譜精細結構研究中更引起人們的高度重視。
在色散元件方面：隨著一些新型晶體，尤其是輕、重元素交替淀積的碳化物多層膜質晶體的發展，在提高衍射效率方面對輕元素分析有可能獲得較大的效益。對于超長波X射線色散用的各種分析晶體和光柵，在提高分辨率和擴大應用范圍方面，不斷取得新的進步。
在探測器方面：作為能譜儀的心臟，可以在室溫下工作，具有優良能量分辨本領的碘化汞晶體探測器也正在開發之中。可以說，以上儀器三個基本環節的突破，以及儀器結構的不斷改進，對于提高儀器的使用水平，必將有很大的促進。
提高X熒光光譜儀檢測精度
分析理論和方法的發展：在物質成分的分析方面主要包括克服基體效應的基礎研究和擴大分析應用范圍兩方面。現在，基體效應的數學校正法正在通過校正模型的更深入研究和計算機軟件的進一步開發，向更高水平的方向發展。隨著制樣技術的逐步自動化，各種物理化學前處理方法的改進，對于擴大分析含量范圍，包括進一步開展痕量元素測定等工作，在各應用部門中仍然有著發展的前景。
隨著科學技術的不斷深入研究，X熒光光譜儀的應用精度將更準確，應用范圍也將更廣。