X熒光光譜儀的檢測方法是一種應用十分廣泛的方法，以創想儀器出產的X熒光光譜儀為例，在目前多單位都有著不錯的應用，合金檢測、礦石材料分析、煤炭材料檢測。那什么是X熒光光譜儀的分析方法。
進行X熒光光譜儀可檢測的樣品，能固態，也能液態，但是不管是哪種樣品，樣品制備的情況對測定誤差影響還是很大的。對金屬樣品要注意成份偏析產生的誤差；化學組成相同，熱處理過程不同的樣品，得到的計數率也不同；成份不均勻的金屬試樣要重熔，快速冷卻后車成圓片；對表面不平的樣品要打磨拋光；對于粉末樣品，要研磨至300目-400目，然后壓成圓片，也可以放入樣品槽中測定。對于固體樣品如果不能得到均勻平整的表面，則可以把試樣用酸溶解，再沉淀成鹽類進行測定。對于液態樣品可以滴在濾紙上，用紅外燈蒸干水份后測定，也可以密封在樣品槽中。總之，所測樣品不能含有水、油和揮發性成份，更不能含有腐蝕性溶劑。
X熒光光譜儀的定性定量分析
使用X熒光光譜儀測量，可以做定性分析，也可能進行定量分析。
定性分析：
不同元素的熒光X射線具有各自的特定波長或能量，因此根據熒光X射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉動的2θ角可以求出X射線的波長λ，從而確定元素成份。對于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。
定量分析：
可以采用標準曲線法，增量法，內標法等進行定量分析。但是這些方法都要使標準樣品的組成與試樣的組成盡可能相同或相似，否則試樣的基體效應或共存元素的影響，會給測定結果造成很大的偏差。所謂基體效應是指樣品的基本化學組成和物理化學狀態的變化對X射線熒光強度所造成的影響。化學組成的變化，會影響樣品對一次X射線和X射線熒光的吸收，也會改變熒光增強效應。
X熒光光譜儀使用X射線熒光分析方法，對多種樣品進行檢測分析，使用廣泛。