在使用能量色散X熒光光譜儀進行檢測時，就是利用譜線強度的不同來測定所測元素的不同含量。在X熒光光譜儀中，其中一個主要部件即是靶材，但是不同的靶材，因為元素的內部結構與特征不同，導致了X射線原級譜的差異。而不同原級能譜分布又影響了譜線的分析準確度，所以事實上，不同的靶材對X熒光光譜儀的檢測結果會有影響。
目前，市場上用的zui廣的就是Cr、Mo、W 三種陽極靶材，他們對入射電子的吸收、散射作用都有所不同，在模擬利用三種元素作為靶材測量四張不同春元素所產生的測量譜線，分析得出不同靶材對測量光譜產生的影響因素。針對模擬結果，利用能量色散X射線熒光光譜儀進行實際測量驗證，通過對四種元素的測量光譜分析，得到三種靶材的原級譜分布對測量光譜產生的影響。根據模擬和實驗的驗證，不同的元素靶材其原級譜線的特征譜、強度、波長、射線產額等都存在差異,這種差異對測量光譜造成光譜疊加、背景淹沒等影響。在實際測量光譜工作中，需要針對測量元素(包括：原子序數、含量等)進行靶材的篩選，這對實際元素檢測中降低檢出限、定性分析、定量測量等方面起到關鍵性作用。
不同靶材
事實證明，不同靶材確實對于X熒光光譜儀的檢測有著影響。