能量色散X熒光分析儀作為X熒光光譜系列產品中的重要組成部分，其在目前檢驗檢測領域占據了重要作用。
能量色散X熒光分析儀不采用晶體分光系統，用半導體檢測器的高分辨率并配以多道脈沖分析器，直接測量試樣X射線熒光的能量，使儀器的結構小型化、輕便化。其主要優點是：由于無需分光系統，檢測器的位置可緊挨樣品；檢測靈敏度可提高2~3個數量級；不存在高次衍射譜線的干擾。可以一次同時測定樣品中幾乎所有的元素，分析物件不受限制。儀器操作簡便，分析速度快，適合現場分析。目前主要的不足之處是對輕元素還不能使相鄰元素的Kα譜線完全分開，有的檢測器必須在液氮低溫下保存和使用，連續光譜構成的背景較大。
能量色散X熒光分析儀放棄了體積龐大，價格昂貴的色散以及測角儀系統，取而代之的用半導體直接對樣品的X熒光進行能量分辨。這樣，探測器可以放置在距離樣品很近的位置，使其幾何效率提高2~3個數量級，為利用放射性核素源或小功率X射線管提供了條件。由于沒有晶體色散系統，使用低功率激發源，使EDXRF的價格不到WDXRF價格的一半，減輕了重量，提高了便攜性，可以廣泛地用在現場或在線快速測定。
能量色散X熒光分析儀的檢測
能量色散X熒光分析儀是一種高效的分析設備，但同時我們也必須注意到它本質上仍是一種表面分析設備，分析厚度在幾微米范圍內，當被測樣品為均質材料，且不要求被測元素化學形態的情況下，XRF可以滿足廠家的質量控制和RoHS檢測的要求，然而許多材料尤其電子材料多為復合材料，大部分兒童玩具表面都有漂亮的鍍層等。這方面對于EDXRF廣泛應用也提出了一定的挑戰。
由于X熒光分析技術具有快速、準確、無需復雜制樣過程、測量成本極低等突出優點，所以X熒光分析儀特別適用于對整個生產過程中有害元素（鉛、汞、鎘、鉻、溴）的含量進行檢測和控制。但對于不同的生產環節和生產階段，應該結合不同類型X熒光分析技術的特點，進行有效合理的選擇和配置。
采用能量色X熒光分析儀對多種樣品可進行準確分析，是時下檢驗檢測領域重要的方法。