在X射線熒光光譜分析儀中，X射線管的在使用時是需要進行冷卻的。X射線管有側窗型和端窗型兩種。側窗的陽極接地，燈絲接負高壓。端窗型的則是燈絲接地。端窗型冷卻靶用的水必須是電阻很大的純水，并使用裝有離子交換樹脂的循環水裝置，而端窗型的則可用飲用水。
那為什么端窗的要用高電阻的純水，含有離子交換樹脂的循環水裝置用來干什么的。
X射線管的冷卻
光管產生的99%以上的能量是轉換成了熱能，大量的熱能必須要用循環流動的水來帶走，還不能用一般的水，必須是高純度的去離子水，因為如果導電的話，光管可能就報廢，而離子交換樹脂的作用就是去離子，當剛換循環水的時候，水的電導率偏高，但是運行一段時間后，電導率就降低，這就是離子交換樹脂的作用。
X射線管的冷卻
去離子水確實直接對陽極靶進行冷卻。X射線管的外部冷卻水管式金屬的，而內部為了電絕緣卻又很長一段冷卻水管是螺旋狀的尼龍管（為增加絕緣距離）。陰極（燈絲）與陽極靶被封閉在高真空腔體內（防氧化及降低X射線的衰減），由玻璃外殼固定陽極靶并隔離絕緣油（高壓電纜插座外殼及螺旋狀的尼龍管浸在高壓絕緣油中）。因此要求冷卻水中不能存在金屬離子，以免導電造成X射線管對地放電、擊穿。去離子水的絕緣指標為2us/cm。