X熒光光譜儀是一種應(yīng)用非常廣泛的儀器，其應(yīng)用主要還是因?yàn)閮x器技術(shù)和理論方法的不斷發(fā)展。但為什么能這么廣？
利用X射線熒光進(jìn)行分析的儀器有三種主要類(lèi)型：實(shí)驗(yàn)室用的、采用各種不同激發(fā)源的熒光X射線光譜儀和非色散的熒光分析儀；小型便攜式的X射線熒光分析儀；工業(yè)上的專(zhuān)門(mén)儀器如多光路的X射線量子儀等。這些儀器和方法分別在工業(yè)上如冶金、地質(zhì)、化工、機(jī)械、石油等，農(nóng)業(yè)上，醫(yī)藥衛(wèi)生和科研如物理、化學(xué)、生物、滴血、天文學(xué)等獲得了廣泛應(yīng)用。
X熒光光譜儀的分析范圍包含了元素周期表中絕大部分元素，超鈾元素也有人利用此法進(jìn)行測(cè)定，分析靈敏度隨儀器條件及分析對(duì)象和待測(cè)元素而異。新型儀器檢出限一般達(dá)10-5~10-6克/克，某些可以達(dá)到10-7~10-9克/克。
X熒光光譜分析的廣泛應(yīng)用
常量分析，由于現(xiàn)代儀器的高度穩(wěn)定性，X射線熒光分析法的準(zhǔn)確度已可與經(jīng)典的化學(xué)分析法相媲美。由于現(xiàn)代化儀器的高度自動(dòng)化，X熒光光譜分析儀已可進(jìn)行輕元素分析，作用于工業(yè)上作爐前分析或工藝流程的控制分析，一些發(fā)達(dá)工業(yè)國(guó)家已經(jīng)在工礦企業(yè)里普遍使用，成為一種很有地位的常規(guī)分析手段。
除此之外，它可有效地用于測(cè)定薄膜的厚度和組成，例如在冶金工業(yè)上測(cè)定鍍層或金屬薄片的厚度，在涂料工藝上測(cè)定涂層的厚度以及在其它工業(yè)部門(mén)中用于金屬腐蝕、感光材料、磁性錄音帶和光量子放大器等以測(cè)定其薄膜厚度和組成，它也可以用在動(dòng)態(tài)的分析上，連續(xù)測(cè)定某一體系在它的物理化學(xué)作用過(guò)程中組成變化的情況。
X熒光光譜儀的廣泛使用，對(duì)于某些產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到了相當(dāng)重要的作用，促進(jìn)了現(xiàn)代化的發(fā)展。