工作曲線是元素的X射線強度與樣品中所含元素的質量百分含量的關系曲線，通過工作曲線將X熒光光譜儀測量得到的特征X射線強度轉換為濃度。因此工作曲線對測量結果的影響非常大。它除了與待測元素的濃度、待測元素、儀器校正因子和元素間吸收增強效應的校正值有關以外，還與制作工作曲線的標準樣品、工作曲線是否偏移、工作曲線的適用范圍等有關。
制作工作曲線的樣品
使用X熒光光譜儀進行X熒光分析基本上是一種相對測量，需要有標準樣品作為測量基準，因而標準樣品與待測樣品的幾何條件需要保持一致。標準樣品應具有足夠的均勻性及穩定性，控制樣品與分析樣品的冶煉過程或分析方法不同，其量值不能溯源，均勻性、穩定性不能保證。所以應選擇化學性質和物理性質與分析樣品相近似的標準樣品來制作相應的工作曲線。包括分析元素含量范圍，并保持適當的梯度，分析元素的含量須用準確、可靠的方法定值。儀器廠商在儀器出廠前按照用戶要分析的材料類型預先繪制一些通用校準曲線，以減少現場分析時對標準樣品的需求。可是毋庸諱言，既然是通用曲線，通用性強，而要同時達到“精”就很困難。因此，為了保證分析的精確性，還是一種基材對應一套標準樣品為好。
X熒光光譜儀的工作曲線
工作曲線的偏移
通用曲線在儀器出廠時或工作伊始就已制好，但在工作現場才能知道其是否與原始狀態一致。不太可能每次分析時再重新繪制工作曲線，這就需要定期用可溯源的標準樣品進行點檢。以驗證工作曲線是否發生偏移，如果發生了偏移且偏移量在規定的允許范圍內，則需要對工作曲線進行校正。如果偏移量超出了規定的允許范圍，則需要重新制作工作曲線。
工作曲線的適用范圍
選擇工作曲線時應注意工作曲線的適用范圍，一般使用范圍應落在繪制曲線使用的標準樣品的濃度范圍內。如繪制曲線所使用的標樣濃度是500～1000μg/g的，就要測試樣品中的待測元素含量應該在500～1000μg/g，測試點落在了工作曲線外延部分，這樣也會給測量結果帶來誤差。