使用臺式X熒光光譜儀時，或多或少會遇見一些問題，其中有一項就是干擾的問題，什么是干擾呢，這邊所說的干擾，不是因為你自己原因，而是因為被測物。
1、光譜干擾
在被測結果，是X射線在光譜上的重疊，是由于一些剩余雜質對檢測器檢測出一些能量的反映。例如，砷K-L2,3(Kα 1,2)的出峰上重疊了鉛L3-M4,5(Kα 1,2)的峰，這個砷鉛的干擾可用反旋計算法降低，如果使用者懷疑有砷存在，可以更進一步審查砷的干擾。光子的相互作用和檢測器本身電子也會導致了峰的增加，像已知的峰消失和峰的總數增加。
X射線的影響也會生產峰疊加，例如，Fe的總峰K-L2(Kα 1,2)能疊加鉛 L2-M4(Kα 1,2)峰。這樣需要依靠儀器的檢測器、光學系統、數據處理系統的整體想能來保證光譜干擾的最小化。如采用較高分辨率的檢測器；光學系統采用更多濾光片的分光系統，或采用偏振光系統對入射光進行分離；采用高速度、大容量的數字模擬處理器。創想EDX-6000臺式X熒光光譜儀采用美國進口Si-PIN探測器，高速脈沖高度分析系統，檢測下限也到了ppm級。
創想EDX-6000臺式X熒光光譜儀
2、底層干擾
舉個例子，在玩具中，有里層和油漆層，我們在檢測油漆層所含的鉛的質量分數能被底層存在的鉛所干擾。如果鉛的信號在油漆層和底層混合，可以控制來自底層的信號增強，并使用儀器制造商的軟件進行FP分析或其他模型進行處理。像一般其他被檢測物，非均勻狀態下，在內層的物質和外層的漆面，被測時，需要進行預處理，分開處理。測里層，就要先處理掉外層。
3、基體效應
基體效應也叫共存元素效應，由于存在于所有元素相互影響的這個效應，在色譜中有X射線（次級X射線）被原子吸收，待測元素的吸收靈敏度明顯的減少。相比之下，原子吸收X射線還可以轉為發射出X射線，能明顯增加待測元素以外元素的吸收靈敏度。基體效應可使用儀器軟件的數學模型對基體效應進行補償。
以上就是常見的幾種在使用X熒光光譜儀時的干擾問題。