波長色散X射線熒光光譜儀的激發源所用的X射線管所產生的光源，原級X射線譜強度的穩定性，取決于高壓發生器提供給X射線管的高壓和管電流的穩定性。一般采用高頻變壓發生器，這種發生器的特點不僅在于它體積小、噪音小和重量輕，而且高壓穩定度有很大改善。
波長色散X射線熒光光譜儀所用X射線管有側窗型、端窗型和透射型三種。為提高超輕元素和常見元素的檢測限和減小測定時間，近年來在端窗型X射線管的性能上有很多改進。功率提高到4KW或更高；改進了X射線管管型設計，縮短了陽極和樣品之間的光路、鈹窗厚度一般為75μm，有的30μm，對測量超輕元素十分有利。基本參數法軟件比較，表明：
1、入射角和出射角分別在55°~90°和35°~45°之間變化，對輕、重元素X射線熒光強度的影響在10%以內；
2、X射線管鈹窗厚度對X射線熒光輕度的影響主要是對原子序數（Z）小于16的元素，而對Z大于30的元素影響甚小；
3、銠是最好的靶材之一，其原子序數相對較大，所產生的連續譜和K系、L系特征譜特別適用于輕、重元素測定。