臺式X熒光光譜儀中除了X射線管，還有高壓發生器，那高壓發生器是什么呢？
在臺式X熒光光譜儀中，高壓發生器的穩定性是X熒光光譜儀性能的主要指標之一。商用的X熒光光譜儀高壓發生器基本由以下三大類型：
早期的采用高壓放大器穩壓-自耦變壓器調壓-高壓變壓器變壓-高壓整流電路，這種電路現已不用。
第二類高壓發生器，采用雙向可控硅、肪沖觸發電路-高壓變壓器升壓-高壓整流電路，這類電路的特點使整機體積小、重量輕，穩定度一般可達0.002%。
第三類是諧波調制電路，它的高壓控制采用300HZ以上的諧波控制調波信號，以觸發可控硅使之形成方波交流電源，經變壓器件變壓，再整流為高壓直流電源供X光管使用。這種電路的穩定性只要取決于電路直流電源的穩定程度，外電源波動，只能輕微地影響直流電源并迅速得到響應和校正。