眾所周知，X熒光光譜儀是一款使用定量分析方法的分析儀器，要有一套已知含量的標準試料系列（經化學分析過的或人工合成的），通過測量標準試料系列和未知試料的X射線強度并加以比較。具體來說有下面三種方法。
①標準曲線法
測量一套（一般不少于5個）與分析試料理相類似的標準試料，將標準試料中分析元素的含量與X射線強度的關系繪制校準曲線用以求得未知試料中分析元素的含量。應用本法時要注意共存元素的影響，必要時選取用適當數學模式求得影響系數并加以校正。
②內標法
對于添加某一成分后易于混合均勻的樣品，如溶液，可采用內標法，即把一定量的內標元素加到分析元不能含量已知的試料中作為標準試料，測量標準試料中分析元素與內標元素的X射線強度比，用該強度比相對分析元素含量繪制校準曲線。分析試料中也加入同-種內標物質和同樣的量，按同樣方法求得X射線強度比，從校準曲線求得含量。內標法適合含量高于10%的元素的測量，應注意不要因加入內標元不比而對分析線產生選擇吸收、選擇激發或重疊干擾。適當的基體元素譜線和散射線也可作為內標線。
創想 EDX-6000型X熒光光譜儀
③標準加入法
標準加入法也稱增量法，即在試料中加入一定量的分析元素，根據X射線強度的變化而求得試料中分析元素的含量。使用這種方法要求分析元素含量與相應的X射線強度成線性關系且增量值不應少于二個，該法適用于元素含量小于10%的測定。