為保證X熒光光譜儀的正常運行及檢測性能，在周期內需要對X熒光光譜儀進行校準，那怎么樣算校準好了，就需要注意以下兩個指標。
一、分辨率指標
分辨率是檢驗儀器性能的重要指標之一，在能譜儀中通常用能量高斯分布曲線的半高寬 (FWHM)表示。由于能譜儀對不同的X射線能量的分辨率不同，為了具有可比性，通常采用Mn元素Kα峰的半高寬表示分辨率，其大小主要取決于探測器、探測器統計漲落、儀器噪聲和漂移等影響因素，其中探測器自身的工作原理與結構起主要作用。
可接受范圍
X射線熒光能譜儀分辨率的可接受范圍根據其實際用途決定。在滿足使用目的的前提下，不必過分地追求其分辨率的高低。在貴金屬首飾檢測中，對分辨率要求ZUI高的是Ir，Pt，Au和Hg元素，相鄰元素之間ZUI小的能量差約為360eV，據此可計算出Mn元素的ZUI大允許分辨率。
儀器的校準
二、穩定性指標
穩定性是儀器性能的重要指標之一，它反映在相同測試條件下測試結果的重復性，可用多次重復性測試的計數或者檢驗結果的標準偏差表示。影響能譜儀穩定性的因素主要有電源的穩定性、環境溫度的變化、激發源的穩定性以及統計計數等。
可接受范圍
穩定性是檢測結果不確定度的重要來源，在提出校準結論時需要給出相應的不確定度。檢測結果的不確定度是表征檢測能力的一個重要參考，客戶可由此判斷檢測結果的可靠程度。因此，各使用單位應根據實際情況制訂一個穩定性的可接受程度，建議X射線熒光能譜儀的穩定性指標應不超過5‰。
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