我們知道真空型直讀光譜儀需要真空系統，但是不一定所有光譜儀都有，根據所檢測的元素不同，有些光譜儀沒有真空系統也能進行檢測，但是若要檢測碳，磷，硫等短波元素，真空系統則不可以缺少。
特殊設計的真空系統，保證了光室穩定的高真空度，進而提高了光學系統的穩定性；有些元素，如碳，磷，硫等會被空氣中的水，氧氣等吸收，所以需要抽真空，這樣去除一些干擾后，直讀光譜儀才會更加的精確。特殊設計的前光路，可在保證光源激發光斑穩定的情況下，最大限度地提高了光室進光量。
真空系統中有真空泵，若是一臺直讀光譜儀儀器很長時間沒有啟動，必須等待片刻后，才能進行檢測，這段時間，真空系統會啟動，進行抽真空。有些直讀光譜儀不采取真空系統，而進行沖氬氣來防止氧氣干擾，這種直讀光譜儀稱之為充氬式光譜儀，創想儀器曾研發一款CX-9500就是充氬式的光譜儀。
CX-9500充氬式光譜儀
充氬式的儀器與真空直讀光譜相比，少了真空系統，這樣在價格方面有少許優惠，但是相對的比真空系統需要多使用一些氬氣。兩種類型的直讀光譜儀各有各的優缺點，需要根據企業自身需求來采購。??