光電直讀光譜儀的故障排除，應當建立在對儀器原理和各模塊結構以及功能的充分了解的基礎上的。應當首先盡量了解各模塊功能，以至各模塊內部部件的功能。然后按照如下三條線索，把儀器的硬件在腦中串成網絡：
1.信號線路：從激發臺樣品發光開始，到電腦軟件中顯示出各元素含量為止，了解樣品發光的光信號在儀器中各部件的先后經過和轉化的順序，以及每個部件的簡單功能。
2.控制線路：了解計算機中的命令對儀器當中各個受控部件的影響，以及命令的傳輸途徑，途徑中每個部件的作用。
3.供電網絡：了解儀器當中所有用電部件所需的準確電壓、電流、功率等詳細參數、知道儀器用電從儀器總供電插座開始，各部件的用電如何產生、調節和傳輸。
一般情況下，盡量列出信號線路中各部件正常工作所需條件，如：本身無損毀，位置無飄移，控制命令傳輸正常，供電正常，另外還有外部溫度、濕度等是否符合要求等。在詳細了解以上情況后，一般情況下，在出現故障時，需首先在信號線路中，找到不能正常工作的模塊（每個模塊是否能正常工作均有檢查方法），然后檢查該模塊中的信號線路經過部件本身是否狀態正常（損毀、位置偏移），受控部件的控制命令傳輸是否暢通，用電不見的供電是否正常來確定故障點，以至排除問題。