X射線(xiàn)熒光光譜作為常規(guī)分析手段，始于20世紀(jì)50年代初，經(jīng)歷了五十多年的發(fā)展，現(xiàn)已成為物質(zhì)組成分析的必備方法之一，并在許多情況下還可獲得結(jié)構(gòu)方面（如配位、價(jià)態(tài)等）的信息。隨著微電子學(xué)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的迅猛發(fā)展，X射線(xiàn)熒光光譜儀已具有自動(dòng)化、智能化、專(zhuān)業(yè)化和小型化等特點(diǎn)。我們將要解剖X熒光光譜儀，以下主要解析X射線(xiàn)熒光光譜儀的部件及特點(diǎn)，及其主要特點(diǎn)。
我國(guó)學(xué)者最近二十多年來(lái)在該技術(shù)的諸多方面如基礎(chǔ)理論、基體校正的計(jì)算方法和程序、分析方法的研究等都取得了卓有成效的成績(jī)。
目前臺(tái)式x熒光光譜儀已經(jīng)發(fā)展成為一種重要且有效的光譜化學(xué)分析手段。
一、臺(tái)式x熒光光譜儀主要部件及功能：
臺(tái)式x熒光光譜儀主要包括光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及檢測(cè)器等主要部件。
1、光源
早期的熒光分光光度計(jì)，配有能發(fā)生很窄汞線(xiàn)的低壓汞燈。使用高壓汞燈，譜線(xiàn)被加寬，而且也存在高強(qiáng)度的連續(xù)帶。然而，一個(gè)完整的激發(fā)光譜的測(cè)定需一種能發(fā)射從可見(jiàn)到紫外范圍的較高強(qiáng)度的光輻射的燈。氙弧燈能適于此條件，因此，它是目前在熒光分光光度計(jì)中最廣泛使用的光源。
2、單色器
單色器的作用是把光源發(fā)出的連續(xù)光譜分解成單色光，并能準(zhǔn)確方便地“取出”所需要的某一波長(zhǎng)的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統(tǒng)組成，其中色散元件是關(guān)鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續(xù)光譜色散成為單色光。
（1）棱鏡單色器
棱鏡單色器是利用不同波長(zhǎng)的光在棱鏡內(nèi)折射率不同將復(fù)合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關(guān)。常用的棱鏡用玻璃或石英制成。可見(jiàn)分光光度計(jì)可以采用玻，它適用于紫外、可見(jiàn)整個(gè)光譜區(qū)。
（2）光柵單色器
光柵作為色散元件具有不少獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現(xiàn)象和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，臺(tái)式x熒光光譜儀又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中最常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達(dá)±0.2nm），而且它可用的波長(zhǎng)范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級(jí)光譜中。近年來(lái)，光柵的刻制復(fù)制技術(shù)也在不斷地改進(jìn)，臺(tái)式x熒光光譜儀其質(zhì)量也在不斷的提高，因而其應(yīng)用日益廣泛。
（3）狹縫
狹縫是單色器的重要組成部分，直接影響到分辨率。狹縫寬度越小，單色性越好，但光強(qiáng)度也隨之減少。
二、臺(tái)式x熒光光譜儀特點(diǎn)
（1）熒光分析的主要特點(diǎn)是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測(cè)量高2-3個(gè)數(shù)量級(jí)。分光光度法通常在 10-7 級(jí) ，而熒光的靈敏度達(dá)10-9。
（2）強(qiáng)選擇性強(qiáng)，熒光物質(zhì)具有兩種特征光譜：激發(fā)光譜和吸收光譜，相對(duì)于分光光度法單一的吸收光譜來(lái)說(shuō)，熒光光譜可根據(jù)激發(fā)光譜和發(fā)射光譜來(lái)鑒定物質(zhì)。
（3）信息量豐富，能提供熒光物質(zhì)的多種參數(shù)。
（4）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質(zhì)本身不發(fā)熒光；②熒光的產(chǎn)生與化合物結(jié)構(gòu)的關(guān)系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。
總之，目前臺(tái)式x熒光光譜儀已經(jīng)發(fā)展成為一種重要且有效的光譜化學(xué)分析手段。