X熒光光譜儀作為廣泛應(yīng)用的儀器，實(shí)現(xiàn)了定性和定量分析，但是就定量分析而言，又該如何保證其分析精度。
使用X熒光光譜儀進(jìn)行樣品的定量分析，需基于以下三點(diǎn)基本需求：（一）樣品基體相對(duì)穩(wěn)定；（二）分析元素種類有限，往往針對(duì)樣品中幾個(gè)元素分析；（三）存在一系列的標(biāo)準(zhǔn)樣品或容易制備定值樣品。
X熒光光譜儀的定量分析檢測(cè)
如果要保障X熒光光譜儀的定量分析精度，對(duì)于以下四點(diǎn)需要注意：
樣品制備
X熒光分析技術(shù)樣品制備簡(jiǎn)單，但并非無(wú)需樣品處理，X熒光分析技術(shù)對(duì)樣品中元素分布均勻性、樣品顆粒度、樣品表面光滑度、表面粉塵、礦物效應(yīng)等有要求，這些方面都會(huì)不同程度影響分析精度，可以通過(guò)相關(guān)的樣品制備方法消除或者改善這些影響，譬如：研磨、壓片、拋光、熔片等方法是X熒光分析技術(shù)通常采用的樣品制備方法。
定量模型
X熒光分析定量模型的建立要充分考慮標(biāo)準(zhǔn)樣品的選擇、基體的匹配、校正算法的建立、目標(biāo)樣品的適用性等，這些方面都會(huì)影響到定量精度，往往這些方面需要分析工作者有豐富的經(jīng)驗(yàn)。
樣品適應(yīng)性
即使建立可靠的定量模型，但對(duì)目標(biāo)樣品適應(yīng)性也非一直如此，也要充分考慮目標(biāo)樣品的物理形態(tài)、元素含量范圍、基體與標(biāo)準(zhǔn)樣品一致性等條件，這些條件與建立定量模型采用的標(biāo)準(zhǔn)樣品不一致，會(huì)一定程度造成定量誤差。
質(zhì)量控制
在分析目標(biāo)樣品過(guò)程中，采用其它實(shí)驗(yàn)室分析方法進(jìn)行定量精度的控制是必要的，不同分析方法存在偏差是必然的，當(dāng)偏差較大時(shí)，應(yīng)進(jìn)一步充分驗(yàn)證兩種分析方法的精度，目標(biāo)是提升X熒光分析技術(shù)定量精度。
使用X熒光光譜儀可進(jìn)行定性定量分析檢測(cè)，當(dāng)然對(duì)于定量分析，我們需要注意的就是上面所說(shuō)的情況。