之前在進行臺式X熒光光譜儀的介紹時候，有講解到關于高壓發生器的問題。我們需要了解到關于儀器的結構，以便在日后的使用中，如果出現問題，可以針對問題，能自己解決。那如果熒光光譜儀中的高壓發生器發生故障了，是什么原因呢。
一般，出現這種情況的話有三個大方面：1、X射線防護體系；2、內部水輪回冷卻系統；3、高壓產生器及X射線光管。
1、X射線防護系統
為了避免X射線泄漏，高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才干啟動。射線防護系統正常與否，重要檢查以下二部分：
①面板的是否畸形。
X射線熒光光譜儀是一個關閉系統，面板是最外層的射線防護安裝，假如有一塊面板不到位，儀器就有射線泄露的可能。因此，每塊面板上都有接觸傳感器，面板不完整合上，高壓開不起來。
②X射線的警示標記是否正常。
X射線熒光光譜儀必需安裝紅色信號燈并與相應的開關系動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。
有一種簡略的方式可以斷定高壓不能啟動是否是由射線防護系統引起，將儀器的狀況設定為維修狀態，屏蔽射線防護系統，如果這時高壓可以開起來，就可以斷定故障是由射線防護系統的問題引起的。
2、內部水循環冷卻系統
高壓發生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產生X射線外，大部分為熱能，由內部水循環冷卻系統帶走。內循環水用于冷卻陽極靶鄰近的光管頭部分，因此要求內循環水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環水通過儀器內部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久生效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內循環水的電導率，如果電導率降不下去，斟酌更換樹脂。另外，內循環水的水位過低，也會導致高壓開不起來。
還有一種故障現象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，產生這種故障的原因可能為內循環水的流量過小。內循環水的流量通過流量計測量，水流過流量計時，帶動流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線，產生電信號。葉輪在水中長期滾動，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤以為水流量過小而導致高壓跳掉。另外內循環水的過濾網梗塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉。
創想EDX-6000型臺式X熒光光譜儀
3、高壓發生器及X射線光管自身
高壓發生器和X射線光管是儀器內最珍貴的部件，一般不會出問題。檢查高壓發生器，可將高壓發生器翻開，依據電圖，檢查各個開關是否在正常，看一下保險絲有沒有熔斷，再進一步的檢查，最好由專業維修工程師來做。X射線光管是個封鎖的部件，一旦損壞，只能調換，不能修理。檢查X射線光管，可檢查X射線光管與高壓電纜的銜接是否正常，高壓電纜有無破壞。
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