在X熒光光譜儀中，對于檢測方面，同樣是會用到探測器，在其中，正比計(jì)數(shù)器（封閉式或流氣式）、閃爍計(jì)數(shù)器和固體計(jì)數(shù)器是X射線光譜分析中常用的三種探測器。這三種探測器均根據(jù)脈沖的電子放大原理工作。探測器每次吸收一個(gè)X射線光子，就形成個(gè)電脈沖。
正比計(jì)數(shù)器
正比計(jì)數(shù)器是以某種氣體（如氙、氦、氬或甲烷等）吸收入射的X射線光子而形成電脈沖的。
由于篇幅有限，在這邊我們先說一下封閉式正比計(jì)數(shù)器。
這種探測器適宜探測波長小于2~3埃的X射線。其中心線極(陽極)與金屬管殼(陰極)是絕緣的，而且可耐1500~ 1800伏的正高壓。為了操作安全，金屬殼接地。探測器出、入射窗口，均由云母或鈹片做成。當(dāng)波長大于2.0埃的輻射通過時(shí)，不產(chǎn)生顯著的吸收。設(shè)置出射窗口的目的是，使未被氣體吸收的輻射穿過探測器時(shí)，不碰撞金屬殼而形成假脈沖。
X射線光子進(jìn)入探測器時(shí)，可能遇到兩種不同方式的吸收，其一是，以入射光子轟擊氣體原子的內(nèi)層電子，產(chǎn)生標(biāo)志該原子的特征X射線（熒光）光子從而引起“逸峰”現(xiàn)象，發(fā)生這種吸收的可能性最小；其二是，入射光子轟擊氣體原子的價(jià)電子，并將其能量幾乎全部轉(zhuǎn)變?yōu)樵撾娮拥膭幽埽l(fā)生這種吸收的可能性最大。一個(gè)能量為8千電子伏特的CuKa光子，可從氙原子中逐走一個(gè)價(jià)電子，其剩余能量（8千電子伏特減去氙的電離電位）全部交給該電子，變成其動能。這個(gè)獲得動能的電子，又使其它氙原子電離，從而引起若干電離對,即正離子和電子。
計(jì)數(shù)器中，氣體原子電離后，正離子被引向管殼而復(fù)合，電子則飛向中心線極。每個(gè)起始電子，在正高壓的加速下，均能獲得足夠的能最迫使其它氣體原子電離，每個(gè)新產(chǎn)生的電子又使更多的氣體原子電離，這個(gè)過程稱謂雪崩放電。由一對起始電離所引起的一次放電大約能夠產(chǎn)生10^4個(gè)電子，沖擊中心線極。這種放電過程發(fā)生在X射線光子被吸收后大約0.1~0.2微秒的時(shí)間內(nèi)。在這樣短的時(shí)間內(nèi)，有大量的雪崩放電沖擊中心線極，使高壓瞬時(shí)降落。這種電位降以脈沖形式，經(jīng)電容器輸入放大電路和測量電路。在中心線極電壓的恢復(fù)過程中(約1微秒)，探測器對另一個(gè)入射的X射線光子不發(fā)生響應(yīng)。這個(gè)時(shí)間叫做探測器的“死時(shí)間”。
由于初始電離對數(shù)與X射線光量子能量間的線性關(guān)系和電路的線性放大，測得脈沖的幅度與X射線光子的能量成正比，因而得名正比計(jì)數(shù)器。