X射線熒光光譜作為常規分析手段，始于20世紀50年代初，經歷了五十多年的發展，現已成為物質組成分析的必備方法之一，并在許多情況下還可獲得結構方面（如配位、價態等）的信息。隨著微電子學和計算機技術的迅猛發展，X射線熒光光譜儀已具有自動化、智能化、專業化和小型化等特點。我們將要解剖X熒光光譜儀，以下主要解析X射線熒光光譜儀的部件及特點，及其主要特點。
我國學者最近二十多年來在該技術的諸多方面如基礎理論、基體校正的計算方法和程序、分析方法的研究等都取得了卓有成效的成績。
目前臺式x熒光光譜儀已經發展成為一種重要且有效的光譜化學分析手段。
一、臺式x熒光光譜儀主要部件及功能：
臺式x熒光光譜儀主要包括光源、激發單色器、樣品池、熒光單色器及檢測器等主要部件。
1、光源
早期的熒光分光光度計，配有能發生很窄汞線的低壓汞燈。使用高壓汞燈，譜線被加寬，而且也存在高強度的連續帶。然而，一個完整的激發光譜的測定需一種能發射從可見到紫外范圍的較高強度的光輻射的燈。氙弧燈能適于此條件，因此，它是目前在熒光分光光度計中最廣泛使用的光源。
2、單色器
單色器的作用是把光源發出的連續光譜分解成單色光，并能準確方便地“取出”所需要的某一波長的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統組成，其中色散元件是關鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續光譜色散成為單色光。
（1）棱鏡單色器
棱鏡單色器是利用不同波長的光在棱鏡內折射率不同將復合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關。常用的棱鏡用玻璃或石英制成?？梢姺止夤舛扔嬁梢圆捎貌?，它適用于紫外、可見整個光譜區。
（2）光柵單色器
光柵作為色散元件具有不少獨特的優點。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現象和干涉現象為基礎的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，臺式x熒光光譜儀又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中最常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達±0.2nm），而且它可用的波長范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級光譜中。近年來，光柵的刻制復制技術也在不斷地改進，臺式x熒光光譜儀其質量也在不斷的提高，因而其應用日益廣泛。
（3）狹縫
狹縫是單色器的重要組成部分，直接影響到分辨率。狹縫寬度越小，單色性越好，但光強度也隨之減少。
二、臺式x熒光光譜儀特點
（1）熒光分析的主要特點是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數量級。分光光度法通常在 10-7 級 ，而熒光的靈敏度達10-9。
（2）強選擇性強，熒光物質具有兩種特征光譜：激發光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據激發光譜和發射光譜來鑒定物質。
（3）信息量豐富，能提供熒光物質的多種參數。
（4）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質本身不發熒光；②熒光的產生與化合物結構的關系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。
總之，目前臺式x熒光光譜儀已經發展成為一種重要且有效的光譜化學分析手段。